������Ҫ��(y��ng)���ں��ӡ����P�������ұ����߀���ڰ댧(d��o)�w���칤ˇ�еĻ��W(xu��)������e�����w���L�������������ӡ��Uɢ���ྦྷ�����u�����x��ע�롢�d�������Y(ji��)�ȡ�����ICP������ɫ�V�x�ȃx�����d�����˜ʚ���ƽ��⡢���c�����

  �a(ch��n)Ʒ���Q���߼���� Һ��

  �������Q��Һ�B(t��i)������߼����

  ����ʽ�� Ar

���đ�(y��ng)�ã�

  ���P䓺��ӱ��o���w

  �X�Ͻ𺸽ӱ��o���w

  �~�Ͻ�ĺ��ӱ��o���w

  �߼����V������ICP���V�x

  �߼����V�����ڹ�(ji��)�ܟ����ן�����չ���������w

  �߼��������ArF�ʷ��Ӽ�����w

  ���������������ИI(y��)����

ע����헣�

  ���ܵ���(y��ng)ԓ���ܷ⡢��©�����ṩ���õ���Ȼͨ�L(f��ng)�l����

  �����ˆT��횽�(j��ng)�^���T��Ӗ(x��n)���������ز���Ҏ(gu��)������ֹ���wй©�����������՚�����

  ���\�r�p�b�pж����ֹ�ƿ�������Ɠp�����й©��(y��ng)��̎���O(sh��)����

  �����һ�N�oɫ���oζ���o���IJ�ȼ���ă����ښ�ƿ�еĸ߉����w��

  ���京�����ӌ�(d��o)�����⺬������19.5%�r�п���������Ϣ���������ʽ���������

  ƿ�b���w�a(ch��n)Ʒ��߉����b���w��ʹ�Õr��(y��ng)��(j��ng)�p�������󷽿�ʹ����

  ���b�Ě�ƿ�Ͼ���ʹ�õ������������ڵĚ�ƿ��������в��T�M�а�ȫ�z򞣬�����^�m(x��)ʹ����

  ÿƿ���w��ʹ�õ�β��r����(y��ng)����ƿ��(n��i)������0.5MPa����С���õ���0.25MPa��������(y��ng)��ƿ�y�P(gu��n)�]���Ա��C���w�|(zh��)����ʹ�ð�ȫ��

  ƿ�b���w�a(ch��n)Ʒ���\ݔ������ʹ�Õr����(y��ng)��ѷ���������ȼ���w�c��ȼ���w�ѷ���һ�𣬲��ʿ�������͟�Դ����(y��ng)�������������մ���D���𱬕������ؒ�����ײ���������ښ�ƿ�����M��������늻�������Ұ�U�bж��